Blanco giratorio de metal
Se aplican campos eléctricos y magnéticos ortogonales entre el objetivo de pulverización catódica (cátodo) y el ánodo.Y llene el gas inerte requerido (generalmente gas Ar) en la cámara de alto vacío.Bajo la acción de un campo eléctrico, el gas Ar se ioniza en iones positivos y electrones.Se aplica un cierto alto voltaje negativo al objetivo, los electrones emitidos por el objetivo se ven afectados por el campo magnético, aumenta la probabilidad de ionización del gas de trabajo, se forma un plasma de alta densidad cerca del cátodo y los iones Ar se ven afectados. por la fuerza de Lorentz.Luego acelere para volar a la superficie objetivo y bombardee la superficie objetivo a alta velocidad, de modo que los átomos pulverizados en el objetivo sigan el principio de conversión de momento, vuelen desde la superficie objetivo al sustrato y depositen una película de alta energía cinética.
Para mejorar aún más la tasa de utilización del material objetivo, se diseña un cátodo giratorio con mayor eficiencia de uso y se utiliza un material objetivo tubular para el recubrimiento por pulverización catódica.La mejora del equipo de bombardeo iónico requiere que el objetivo cambie de una forma plana a una forma tubular, y la tasa de utilización del objetivo giratorio tubular puede llegar al 70 %, lo que resuelve en gran medida el problema de la baja utilización del objetivo plano.
Nombre del producto | Blanco giratorio de metal |
Material | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Tamaño de venta caliente | ID-133/ DE-157x 3191mm ID-133/DE-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm También se puede procesar de acuerdo con los requisitos específicos de los clientes. |
MOQ | 3 piezas |
Paquete | caja de madera contrachapada |
Solicitud
El recubrimiento por pulverización catódica es un nuevo tipo de método de recubrimiento por vapor físico.Comparado con el método de recubrimiento por evaporación, tiene ventajas obvias.
en muchos aspectos.Los objetivos de pulverización catódica de metal se han utilizado en muchos campos.La aplicación principal del objetivo giratorio.
■Células solares
■Vidrio arquitectónico
■Vidrio del carro
■Semiconductor
■TV de pantalla plana, etc.
información del pedido
Las consultas y pedidos deben incluir la siguiente información:
☑Especificación del objetivo ID × OD × L (mm).
☑Cantidad requerida.
☑Póngase en contacto con nosotros para necesidades más especiales.